Les oxydes transparents conducteurs (TCO) sont des matiaux remarquables dans de nombreux domaines, L'existence de leur double propri conductivitectrique et transparence dans le visible, fait d'eux candidats idux pour des applications en optoectronique, en photovoltaue ou encore en fenres ectrochromiques

L'objet principal de cette ude est d'amiorer la connaissance des relations entre le processus de d de couches minces et les diffentes propri des films rultants. Cette connaissance peut ensuite re utilis pour amiorer les propri de couches minces doss et diminuer l'effort nessaire pour optimiser les propri des couches au futur.